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計(jì)量和生產(chǎn)控制

海德漢公司的長度計(jì)在產(chǎn)品進(jìn)廠檢測，生產(chǎn)期間的快速尺寸檢查支撐作用，生產(chǎn)或質(zhì)量保證中的統(tǒng)計(jì)過程控制或任何需要快速同時、可靠和精確測量長度領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。其大量程設(shè)計(jì)是其突出優(yōu)點(diǎn)：無論是5 mm還是95 mm的零件效高性，都可以用同一個(gè)長度計(jì)直接測量模式。

無論任何應(yīng)用，海德漢公司都能提供所需精度的相應(yīng)長度計(jì)提升。海德漢CERTO系列長度計(jì)為精密測量提供高達(dá)±0.1μm/±0.05?μm*/±0.03?μm*的精度高品質。

海德漢METRO系列長度計(jì)的精度可達(dá)±0.2?μm；而海德漢SPECTO系列長度計(jì)結(jié)構(gòu)緊湊支撐能力、體積小巧資源優勢，精度為±1?μm。

* 在信號處理電子電路中進(jìn)行線性誤差

補(bǔ)償后

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量塊檢定和測量設(shè)備檢測

根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)要求特征更加明顯，測量設(shè)備需要定期檢測估算，特別是量塊檢定中，如果用電感測微儀對量塊進(jìn)行比較測量的可能性，需要使用大量基準(zhǔn)量塊不要畏懼。這是因?yàn)殡姼袦y微儀的測量范圍很小：其測量范圍不超過10?μm問題。而長度計(jì)不僅測量范圍大大大縮短，而且測量精度高，可以限度簡化測量設(shè)備的檢定過程緊密相關，滿足可跟蹤性要求更默契了。

海德漢CERTO系列長度計(jì)25 mm測量范圍的精度為±0.1?μm/±0.03?μm*，60 mm測量范圍的精度為±0.1?μm/±0.05?μm*培訓，非常適合于此應(yīng)用不合理波動。這樣，可以大大減少所需基準(zhǔn)量塊的數(shù)量，簡化量塊檢定工作積極拓展新的領域。

多點(diǎn)檢測設(shè)備

多點(diǎn)檢測設(shè)備需要外形小巧配套設備、經(jīng)久耐用的長度計(jì)。同時(shí)相對開放，這些長度計(jì)還應(yīng)具有數(shù)毫米的相對較大的測量范圍推進高水平，一致的線性精度，以簡化檢測設(shè)備結(jié)構(gòu)拓展應用，例如生產創效，一臺設(shè)備就可以測量多個(gè)模板。測量范圍大還可以減少標(biāo)準(zhǔn)模數(shù)量領先水平，因此能簡化標(biāo)準(zhǔn)模生產(chǎn)。

由于體積小巧，海德漢ACANTOjue對式長度計(jì)戰略布局，海德漢SPECTO增量式長度計(jì)特別適合用于多點(diǎn)測量站應(yīng)用事關全面。30 mm測量范圍的測量精度等級達(dá)± 1?μm。而更高±0.2?μm的精度要求可由同樣緊湊的海德漢METRO長度計(jì)滿足狀態。

與電感式長度計(jì)不同技術節能，海德漢SPECTO系列長度計(jì)的測量精度長期穩(wěn)定，無需頻繁檢定廣泛認同。

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位置測量

海德漢公司的長度計(jì)還是理想的精密直線滑板和X-Y工作臺的位置測量設(shè)備聯動。例如，用于測量顯微鏡時(shí)共同努力，其數(shù)顯裝置和靈活的原點(diǎn)設(shè)置功能行業內卷，使測量顯微鏡的操作更簡單。

在此方面逐漸完善，海德漢METRO和海德漢

SPECTO系列長度計(jì)有30 mm參與能力、60 mm或100 mm的大測量范圍，可穩(wěn)定提供高達(dá)±0.5?μm或±1?μm的高精度是目前主流。

作為直線測量應(yīng)用的長度計(jì)通過裝夾桿或兩維安裝平面進(jìn)行快速安裝而且符合阿貝（Abbe）測量原則充分發揮，這是長度計(jì)的突出優(yōu)

點(diǎn)。

測量范圍大

海德漢公司的長度計(jì)測量范圍有12mm業務指導、25 mm、30 mm就此掀開、60 mm或100 mm多種選擇長足發展，因此其一臺測量設(shè)備可以測量不同的零件今年，避免頻繁地更換價(jià)格昂貴的量塊或模板。

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應(yīng)用廣泛

海德漢公司的長度計(jì)適用于多種應(yīng)用前景。自動檢測設(shè)備進一步意見、手動測量站或定位設(shè)備－無論是長度、間距共享應用、厚度生產能力、高度或直線位移都可以用海德漢公司的長度計(jì)快速、可靠和精確的測量示範推廣。

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jue對式位置測量

海德漢ACANTO長度計(jì)采用jue對測量法堅持好，測量范圍12 mm或30 mm且重復(fù)精度極高。突出優(yōu)點(diǎn)是開機(jī)即提供位置值大幅增加。

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測量基準(zhǔn)

海德漢公司的長度計(jì)具有量程大、精度高將進一步、精度穩(wěn)定的特點(diǎn)充分發揮。其技術(shù)基礎(chǔ)是光電掃描。

海德漢公司的直線光柵尺采用實(shí)物測量基準(zhǔn)成就，即玻璃或玻璃陶瓷基體的jue對式或增量式光柵尺重要方式。這些測量基準(zhǔn)支持大測量范圍，對振動和沖擊不敏感系統，并具有確定的溫度特性非常重要。測量基準(zhǔn)的精度不受大氣壓力和相對濕度變化的影響－這是海德漢公司的長度計(jì)能夠長期穩(wěn)定的先決條件。

海德漢公司用特別開發(fā)的光刻工藝制造精密光柵空間廣闊。

??AURODUR：在鍍金鋼帶上蝕刻線條高品質，典型柵距40?μm

?METALLUR：抗污染的鍍金層金屬線不折不扣，典型柵距20?μm

?DIADUR：玻璃基體的超硬鉻線（典型柵距20?μm）或玻璃基體的三維鉻線格柵（典型柵距8?μm）

??SUPRADUR相位光柵：光學(xué)三維平面格柵線條，抗污能力資源優勢，典型柵距不超過8?μm

?OPTODUR相位光柵：光學(xué)三維平面格柵線條形式，超高反光性能，典型柵距不超過2?μm

這種方法除了能刻制柵距非常小的光柵外不斷完善，而且它刻制的光柵線條邊緣清晰數字化、均勻。再加上光電掃描法基礎上，這些邊緣清晰的刻線是輸出高質(zhì)量信號的關(guān)鍵各領域。

母版光柵采用海德漢公司定制的精密刻線機(jī)制造。

測量步驟

增量測量法的光柵由周期性刻線組成保持競爭優勢。位置信息通過計(jì)算自某點(diǎn)開始的增量數(shù)（測量步距數(shù)）獲得進行培訓。由于必須用jue對參考點(diǎn)確定位置值，因此光柵尺上還刻有一個(gè)參考點(diǎn)軌長效機製。參考點(diǎn)確定的光柵尺jue對位置值可以精確到一個(gè)信號周期法治力量。

因此，必須通過掃描參考點(diǎn)建立jue對基準(zhǔn)點(diǎn)或確定上次選擇的原點(diǎn)分享。

jue對測量法是指編碼器通電時(shí)就可立即得到位置值并隨時(shí)供后續(xù)信號處理電子電路讀取共享。無需移動軸執(zhí)行參考點(diǎn)回零操作。jue對位置信息來自光柵碼盤方式之一，它由一系列jue對碼組成生動。單獨(dú)的增量刻軌信號用于細(xì)分處理后得到位置值，同時(shí)也能生成供選用的增量信號（與接口類型有關(guān)）創新能力。

光電掃描

大多數(shù)海德漢公司光柵尺或編碼器都用光電掃描原理新品技。對測量基準(zhǔn)的光電掃描為非接觸掃描，因此無磨損求得平衡。這種光電掃描方法能檢測到非常細(xì)的線條好宣講，通常不超過幾微米寬，而且能生成信號周期很小的輸出信號領先水平。

測量基準(zhǔn)的柵距越小，光電掃描的衍射現(xiàn)象越嚴(yán)重。海德漢公司的直線光柵尺采用兩種掃描原理：

??成像掃描原理用于20?μm至大約40?μm的柵距戰略布局。

??干涉掃描原理用于更小柵距的光柵事關全面，例如8?μm。

成像掃描原理

簡單的說技術節能，成像掃描原理是采用透射光生成信號：兩個(gè)具有相同或相近柵距的光柵尺光柵和掃描掩膜彼此相對運(yùn)動。掃描掩膜的基體是透明的研究與應用，而作為測量基準(zhǔn)的光柵尺可以是透明的也可以是反射的飛躍。

當(dāng)平行光穿過一個(gè)光柵時(shí)更高效，在一定距離處形成明/暗區(qū)，掃描掩膜就在這個(gè)位置處重要部署。當(dāng)兩個(gè)光柵相對運(yùn)動時(shí)具體而言，穿過光柵尺的光得到調(diào)制。如果狹縫對齊智慧與合力，則光線穿過喜愛。如果一個(gè)光柵的刻線與另一個(gè)光柵的狹縫對齊，光線無法通過開放要求。一組規(guī)則排列的光電池將這些光強(qiáng)變化轉(zhuǎn)化成電信號向好態勢。特殊

結(jié)構(gòu)的掃描掩膜將光強(qiáng)調(diào)制為近正弦輸出信號。

柵距越小服務機製，掃描掩膜和光柵尺間的間距越小貢獻力量，公差越嚴(yán)。

MT 60和MT 100系列的海德漢ACANTO大幅拓展、海德漢SPECTO和海德漢METRO長度計(jì)采用成像掃描原理發行速度。

干涉掃描原理

干涉掃描原理是利用精細(xì)光柵的衍射和干涉形成位移的測量信號。

階梯狀光柵用作測量基準(zhǔn)：高度0.2?μm的反光線刻在平反光面中積極性。光柵尺前方是掃描掩膜奮勇向前，其柵距與光柵尺柵距相同不斷豐富，是透射相位光柵實施體系。

光波照射到掃描掩膜時(shí)，光波被衍射為三束光強(qiáng)近似的光：-1各有優勢、0和+1效果較好。光柵尺所衍射的光波中，反射光的衍射光強(qiáng)的光束為+1和-1持續。這兩束光在掃描掩膜的相位光柵處再次相遇等多個領域，又一次被衍射和干涉。它也形成三束光產品和服務，并以不同的角度離開掃描掩膜應用擴展。光電池將這些交變的光強(qiáng)信

號轉(zhuǎn)化成電信號。

掃描掩膜與光柵尺的相對運(yùn)動使級的衍射光產(chǎn)生相位移：當(dāng)光柵移過一個(gè)柵距時(shí)增多，前一級的+1衍射光在正方向上移過一個(gè)光波波長活動上，-1衍射光在負(fù)方向上移過一個(gè)光波波長。由于這兩個(gè)光波在離開掃描光柵時(shí)將發(fā)生干涉明顯，光波將彼此相對移動兩個(gè)光波波長安全鏈。也就是說，相對移動一個(gè)

柵距可以得到兩個(gè)信號周期創新為先。

例如真正做到，干涉光柵尺的柵距一般為8?μm科普活動、4?μm甚至更小。其掃描信號基本沒有高次諧波強化意識，能進(jìn)行高倍頻細(xì)分長期間。因此，這些光柵尺特別適用于高分辨率和高精度應(yīng)用的積極性。

MT 1200和MT 2500系列的海德漢CERTO和海德漢METRO長度計(jì)采用干涉掃描原理綠色化發展。

成像掃描原理

干涉掃描原理（光學(xué)示意圖）

C?柵距

Ψ移過掃描掩膜時(shí)光波的相位變化

Ω由于光柵沿X軸運(yùn)動導(dǎo)致的光波相位變化