日韩精品在线视频,日韩精品中文字幕第1页,日韩精品中文字幕在线一区,日韩精品自拍第五页,日韩精品综合一区二区|欧美白嫩精品一区二区_九九亚洲精品免费视频_国产欧美日韩综合视频专区_一本大道之中文日本香蕉

計(jì)量和生產(chǎn)控制

海德漢公司的長(zhǎng)度計(jì)在產(chǎn)品進(jìn)廠檢測(cè)綠色化，生產(chǎn)期間的快速尺寸檢查不同需求，生產(chǎn)或質(zhì)量保證中的統(tǒng)計(jì)過程控制或任何需要快速、可靠和精確測(cè)量長(zhǎng)度領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用保持穩定。其大量程設(shè)計(jì)是其突出優(yōu)點(diǎn)：無論是5 mm還是95 mm的零件總之，都可以用同一個(gè)長(zhǎng)度計(jì)直接測(cè)量。

無論任何應(yīng)用支撐作用，海德漢公司都能提供所需精度的相應(yīng)長(zhǎng)度計(jì)研學體驗。海德漢CERTO系列長(zhǎng)度計(jì)為超精密測(cè)量提供高達(dá)±0.1μm/±0.05?μm*/±0.03?μm*的超高精度。

海德漢METRO系列長(zhǎng)度計(jì)的精度可達(dá)±0.2?μm最為突出；而海德漢SPECTO系列長(zhǎng)度計(jì)結(jié)構(gòu)緊湊落實落細、體積小巧，精度為±1?μm高效化。

* 在信號(hào)處理電子電路中進(jìn)行線性誤差

補(bǔ)償后

量塊檢定和測(cè)量設(shè)備檢測(cè)

根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)要求製高點項目，測(cè)量設(shè)備需要定期檢測(cè)，特別是量塊檢定中範圍和領域，如果用電感測(cè)微儀對(duì)量塊進(jìn)行比較測(cè)量有所增加，需要使用大量基準(zhǔn)量塊。這是因?yàn)殡姼袦y(cè)微儀的測(cè)量范圍很懈咭?。浩錅y(cè)量范圍不超過10?μm越來越重要的位置。而長(zhǎng)度計(jì)不僅測(cè)量范圍大，而且測(cè)量精度高，可以大限度簡(jiǎn)化測(cè)量設(shè)備的檢定過程順滑地配合，滿足可跟蹤性要求深入。

海德漢CERTO系列長(zhǎng)度計(jì)25 mm測(cè)量范圍的精度為±0.1?μm/±0.03?μm*，60 mm測(cè)量范圍的精度為±0.1?μm/±0.05?μm*逐漸顯現，非常適合于此應(yīng)用要落實好。這樣，可以大大減少所需基準(zhǔn)量塊的數(shù)量更默契了，簡(jiǎn)化量塊檢定工作先進技術。

多點(diǎn)檢測(cè)設(shè)備

多點(diǎn)檢測(cè)設(shè)備需要外形小巧、經(jīng)久耐用的長(zhǎng)度計(jì)不合理波動。同時(shí)宣講手段，這些長(zhǎng)度計(jì)還應(yīng)具有數(shù)毫米的相對(duì)較大的測(cè)量范圍，一致的線性精度積極拓展新的領域，以簡(jiǎn)化檢測(cè)設(shè)備結(jié)構(gòu)配套設備，例如，一臺(tái)設(shè)備就可以測(cè)量多個(gè)模板相對開放。測(cè)量范圍大還可以減少標(biāo)準(zhǔn)模數(shù)量推進高水平，因此能簡(jiǎn)化標(biāo)準(zhǔn)模生產(chǎn)。

由于體積小巧拓展應用，海德漢ACANTOjue對(duì)式長(zhǎng)度計(jì)生產創效，海德漢SPECTO增量式長(zhǎng)度計(jì)特別適合用于多點(diǎn)測(cè)量站應(yīng)用。30 mm測(cè)量范圍的測(cè)量精度等級(jí)達(dá)± 1?μm管理。而更高±0.2?μm的精度要求可由同樣緊湊的海德漢METRO長(zhǎng)度計(jì)滿足優化上下。

與電感式長(zhǎng)度計(jì)不同，海德漢SPECTO系列長(zhǎng)度計(jì)的測(cè)量精度長(zhǎng)期穩(wěn)定模樣，無需頻繁檢定生產體系。

位置測(cè)量

海德漢公司的長(zhǎng)度計(jì)還是理想的精密直線滑板和X-Y工作臺(tái)的位置測(cè)量設(shè)備。例如很重要，用于測(cè)量顯微鏡時(shí)能力和水平，其數(shù)顯裝置和靈活的原點(diǎn)設(shè)置功能，使測(cè)量顯微鏡的操作更簡(jiǎn)單異常狀況。

在此方面研究，海德漢METRO和海德漢

SPECTO系列長(zhǎng)度計(jì)有30 mm、60 mm或100 mm的大測(cè)量范圍統籌發展，可穩(wěn)定提供高達(dá)±0.5?μm或±1?μm的高精度深化涉外。

作為直線測(cè)量應(yīng)用的長(zhǎng)度計(jì)通過裝夾桿或兩維安裝平面進(jìn)行快速安裝而且符合阿貝（Abbe）測(cè)量原則，這是長(zhǎng)度計(jì)的突出優(yōu)

點(diǎn)生產製造。

測(cè)量范圍大

海德漢公司的長(zhǎng)度計(jì)測(cè)量范圍有12mm高質量、25 mm、30 mm選擇適用、60 mm或100 mm多種選擇管理，因此其一臺(tái)測(cè)量設(shè)備可以測(cè)量不同的零件，避免頻繁地更換價(jià)格昂貴的量塊或模板業務指導。

應(yīng)用廣泛

海德漢公司的長(zhǎng)度計(jì)適用于多種應(yīng)用的必然要求。自動(dòng)檢測(cè)設(shè)備研究成果、手動(dòng)測(cè)量站或定位設(shè)備－無論是長(zhǎng)度、間距運行好、厚度首次、高度或直線位移都可以用海德漢公司的長(zhǎng)度計(jì)快速可能性更大、可靠和精確的測(cè)量部署安排。

jue對(duì)式位置測(cè)量

海德漢ACANTO長(zhǎng)度計(jì)采用jue對(duì)測(cè)量法，測(cè)量范圍12 mm或30 mm且重復(fù)精度極高技術。突出優(yōu)點(diǎn)是開機(jī)即提供位置值推廣開來。

測(cè)量基準(zhǔn)

海德漢公司的長(zhǎng)度計(jì)具有量程大相關、精度高大力發展、精度穩(wěn)定的特點(diǎn)。其技術(shù)基礎(chǔ)是光電掃描等特點。

海德漢公司的直線光柵尺采用實(shí)物測(cè)量基準(zhǔn)建言直達，即玻璃或玻璃陶瓷基體的jue對(duì)式或增量式光柵尺。這些測(cè)量基準(zhǔn)支持大測(cè)量范圍，對(duì)振動(dòng)和沖擊不敏感充分發揮，并具有確定的溫度特性發展成就。測(cè)量基準(zhǔn)的精度不受大氣壓力和相對(duì)濕度變化的影響－這是海德漢公司的長(zhǎng)度計(jì)能夠長(zhǎng)期穩(wěn)定的先決條件。

海德漢公司用特別開發(fā)的光刻工藝制造精密光柵重要方式。

??AURODUR：在鍍金鋼帶上蝕刻線條開展面對面，典型柵距40?μm

?METALLUR：抗污染的鍍金層金屬線，典型柵距20?μm

?DIADUR：玻璃基體的超硬鉻線（典型柵距20?μm）或玻璃基體的三維鉻線格柵（典型柵距8?μm）

??SUPRADUR相位光柵：光學(xué)三維平面格柵線條非常重要，抗污能力進一步提升，典型柵距不超過8?μm

?OPTODUR相位光柵：光學(xué)三維平面格柵線條，超高反光性能營造一處，典型柵距不超過2?μm

這種方法除了能刻制柵距非常小的光柵外不折不扣，而且它刻制的光柵線條邊緣清晰、均勻資源優勢。再加上光電掃描法高效利用，這些邊緣清晰的刻線是輸出高質(zhì)量信號(hào)的關(guān)鍵。

母版光柵采用海德漢公司定制的精密刻線機(jī)制造估算。

測(cè)量步驟

增量測(cè)量法的光柵由周期性刻線組成講理論。位置信息通過計(jì)算自某點(diǎn)開始的增量數(shù)（測(cè)量步距數(shù)）獲得。由于必須用jue對(duì)參考點(diǎn)確定位置值不要畏懼，因此光柵尺上還刻有一個(gè)參考點(diǎn)軌服務為一體。參考點(diǎn)確定的光柵尺jue對(duì)位置值可以精確到一個(gè)信號(hào)周期。

因此逐漸顯現，必須通過掃描參考點(diǎn)建立jue對(duì)基準(zhǔn)點(diǎn)或確定上次選擇的原點(diǎn)全會精神。

jue對(duì)測(cè)量法是指編碼器通電時(shí)就可立即得到位置值并隨時(shí)供后續(xù)信號(hào)處理電子電路讀取。無需移動(dòng)軸執(zhí)行參考點(diǎn)回零操作拓展基地。jue對(duì)位置信息來自光柵碼盤集中展示，它由一系列jue對(duì)碼組成。單獨(dú)的增量刻軌信號(hào)用于細(xì)分處理后得到位置值體系流動性，同時(shí)也能生成供選用的增量信號(hào)（與接口類型有關(guān)）探索創新。

光電掃描

大多數(shù)海德漢公司光柵尺或編碼器都用光電掃描原理。對(duì)測(cè)量基準(zhǔn)的光電掃描為非接觸掃描實現了超越，因此無磨損生動。這種光電掃描方法能檢測(cè)到非常細(xì)的線條，通常不超過幾微米寬創新能力，而且能生成信號(hào)周期很小的輸出信號(hào)新品技。

測(cè)量基準(zhǔn)的柵距越小，光電掃描的衍射現(xiàn)象越嚴(yán)重求得平衡。海德漢公司的直線光柵尺采用兩種掃描原理：

??成像掃描原理用于20?μm至大約40?μm的柵距紮實做。

??干涉掃描原理用于更小柵距的光柵註入新的動力，例如8?μm。

成像掃描原理

簡(jiǎn)單的說雙重提升，成像掃描原理是采用透射光生成信號(hào)：兩個(gè)具有相同或相近柵距的光柵尺光柵和掃描掩膜彼此相對(duì)運(yùn)動(dòng)。掃描掩膜的基體是透明的事關全面，而作為測(cè)量基準(zhǔn)的光柵尺可以是透明的也可以是反射的表現明顯更佳。

當(dāng)平行光穿過一個(gè)光柵時(shí)，在一定距離處形成明/暗區(qū)技術節能，掃描掩膜就在這個(gè)位置處指導。當(dāng)兩個(gè)光柵相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)，穿過光柵尺的光得到調(diào)制國際要求。如果狹縫對(duì)齊流動性，則光線穿過。如果一個(gè)光柵的刻線與另一個(gè)光柵的狹縫對(duì)齊競爭激烈，光線無法通過持續創新。一組規(guī)則排列的光電池將這些光強(qiáng)變化轉(zhuǎn)化成電信號(hào)。特殊

結(jié)構(gòu)的掃描掩膜將光強(qiáng)調(diào)制為近正弦輸出信號(hào)空白區。

柵距越小協調機製，掃描掩膜和光柵尺間的間距越小，公差越嚴(yán)形勢。

MT 60和MT 100系列的海德漢ACANTO實踐者、海德漢SPECTO和海德漢METRO長(zhǎng)度計(jì)采用成像掃描原理。

干涉掃描原理

干涉掃描原理是利用精細(xì)光柵的衍射和干涉形成位移的測(cè)量信號(hào)約定管轄。

階梯狀光柵用作測(cè)量基準(zhǔn)：高度0.2?μm的反光線刻在平反光面中數據。光柵尺前方是掃描掩膜，其柵距與光柵尺柵距相同發揮，是透射相位光柵顯著。

光波照射到掃描掩膜時(shí)，光波被衍射為三束光強(qiáng)近似的光：-1積極性、0和+1奮勇向前。光柵尺所衍射的光波中，反射光的衍射光強(qiáng)強(qiáng)的光束為+1和-1實施體系。這兩束光在掃描掩膜的相位光柵處再次相遇，又一次被衍射和干涉各有優勢。它也形成三束光效果較好，并以不同的角度離開掃描掩膜。光電池將這些交變的光強(qiáng)信

號(hào)轉(zhuǎn)化成電信號(hào)持續。

掃描掩膜與光柵尺的相對(duì)運(yùn)動(dòng)使級(jí)的衍射光產(chǎn)生相位移：當(dāng)光柵移過一個(gè)柵距時(shí)等多個領域，前一級(jí)的+1衍射光在正方向上移過一個(gè)光波波長(zhǎng)再獲，-1衍射光在負(fù)方向上移過一個(gè)光波波長(zhǎng)。由于這兩個(gè)光波在離開掃描光柵時(shí)將發(fā)生干涉應用擴展，光波將彼此相對(duì)移動(dòng)兩個(gè)光波波長(zhǎng)體驗區。也就是說，相對(duì)移動(dòng)一個(gè)

柵距可以得到兩個(gè)信號(hào)周期活動上。

例如有望，干涉光柵尺的柵距一般為8?μm、4?μm甚至更小導向作用。其掃描信號(hào)基本沒有高次諧波方案，能進(jìn)行高倍頻細(xì)分。因此十大行動，這些光柵尺特別適用于高分辨率和高精度應(yīng)用左右。

MT 1200和MT 2500系列的海德漢CERTO和海德漢METRO長(zhǎng)度計(jì)采用干涉掃描原理。

成像掃描原理

干涉掃描原理（光學(xué)示意圖）

C?柵距

Ψ移過掃描掩膜時(shí)光波的相位變化

Ω由于光柵沿X軸運(yùn)動(dòng)導(dǎo)致的光波相位變化