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測(cè)量桿的驅(qū)動(dòng)

電機(jī)

通過(guò)聯(lián)結(jié)器連接機(jī)床運(yùn)動(dòng)部件

測(cè)量基準(zhǔn)

Zerodur玻璃陶瓷基體的DIADUR相位光柵優化上下；柵距4 μm

系統(tǒng)精度

± 0.1 μm,

± 0.1 μm,

± 0.1 μm,

± 0.1 μm,

19°C至21°C時(shí)

± 0.03 μm1)

± 0.05 μm1)

± 0.03 μm1)

± 0.05 μm1)

單信號(hào)周期位置誤差

≤ ?± 0.02 μm

參考點(diǎn)

一個(gè)，在上止點(diǎn)下方約1.7 mm處

測(cè)量范圍

25 mm

60 mm

25 mm

60 mm

測(cè)量力
垂直向下
垂直向上
水平

電機(jī)
1 N/1.25 N/1.75 N
– /– /0.75 N
– /0.75 N/1.25 N

運(yùn)動(dòng)力2)
0.6 N
0.1 N
0.6 N

徑向力

≤ ?0.5 N（機(jī)械允許）

固定

裝夾桿φ16h8

平面

裝夾桿φ16h8

平面

工作姿態(tài)

按需（有關(guān)優(yōu)選的工作姿態(tài)資料，參見(jiàn)安裝）

振動(dòng)?55至2 000 Hz
沖擊?11 ms

≤ 100 m/s2 (EN 60 068-2-6)
≤ 1 000 m/s2 (EN 60 068-2-27)

工作溫度

10 °C至40 °C深入；標(biāo)準(zhǔn)溫度20 °C

防護(hù)等級(jí)EN 60 529

IP 50

重量不帶電纜

520 g

700 g

480 g

640 g

電氣參數(shù)

CT 2501

CT 6001

CT 2502

CT 6002

接口

~11 μAPP

信號(hào)周期

2 μm

測(cè)量速度

?≤24 m/min（取決于后續(xù)電子電路）
≤12 m/min技術研究，用ND 28x數(shù)顯裝置

電氣連接*

? 電纜長(zhǎng)度1.5 m帶D-sub接頭（針式）,15針
? 電纜長(zhǎng)度1.5 m帶M23接頭（針式），9針
接口電子設(shè)備在接頭中

電纜長(zhǎng)度

≤30 m

電源

5 V DC ± 0.25 V/< 180>

5 V DC ± 0.25 V/< 120>

開(kāi)關(guān)盒

SG 25 M

SG 60 M